Hartmann - Shack波前传感器/波前分析仪是用于激光束性能的综合表征，对激光辐射传播行为预测以及光束质量因子M²的确定，从同时记录强度和相位分布光束质量可以通过菲涅耳-基尔霍夫积分计算沿光束路径的任何位置，特别是焦平面。

系统基于微透镜阵列，将入射波分散成大量的次级光波。用相机检测每个独立聚焦点的强度和位置，通过单次测试便能重构光束剖面和波前。

主要功能

        光束传播（NIR~EUV）

        基于ISO光束参数分析

        M²光束质量因子实时测量

        聚焦性能检测

        光学测试/Zernike分析

主要特点

        单次测试可获得所有光束参数

        光谱范围: 1100nm~1nm

        动态范围：up to 100λ

        灵敏度：<100pm

        多种规格微透镜阵列和相机可选

        客户方案定制

光束测试软件

测试基于ISO标准